装置オンライン化で業務改善あきらめかけていた旧式生産装置にも対応
当社のOnlineToolは、半導体製造工場の自動化の歴史の中で育てられたToolです。
長年半導体製造工場の自動化業務に携わり、歴史と共に多くの工場自動化を実現する上で、
必要な機能を必要な目的に合わせ開発してきました。
SEMI規格（SECS）対応装置のオンライン化はもちろん、旧式生産装置にPLCやセンサーを用いて
稼働情報や品質情報を収集・管理することで業務改善につなげます。
活用シーン
- 製造装置と生産管理システムのオンライン連携
- Protocol Converterで装置間の差異を吸収
- 拡張システムのオンライン対応
- シミュレーターやデバッグツールとして
効果
- 遠隔操作・集中管理でコスト削減
- 生産実績・装置状況のリアルタイムな把握
- トレーサビリティの確保
- 正確なライン状況把握による生産性向上・品質向上
機能＆特徴
SEMI準拠
- 通信インターフェース実装：SECSⅠ、HSMS
- 通信メッセージ実装：SECSⅡ
- シーケンスシナリオ実装：GEM、GEM300
- ログ収集：バイナリーとSML表記のログ出力
その他
- マルチチャンネル対応（複数の通信ポートを制御）
- パケットモニター機能搭載
- SECS通信を別ポートへ出力する為のメッセージフック機能搭載
- オリジナルメッセージやインタフェースを開発する場合に有効なAPI搭載
アプリケーション構成
